コーディネータ:
オムロン オートモーティブエレクトロニクス 品質統括室担当部長 南百瀬 勇氏
(ISSM論文委員会幹事)
時間 | タイトル | 講演者 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
13:00-13:05 | 開会の辞 |
ISSM運営委員長 ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング シニアエキスパート 井上 修一氏 |
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6,8インチファブのoutlook | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
13:05-13:30 | 6,8インチファブのoutlook |
IHS Markits 日本調査部ディレクター 南川 明氏 |
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セッション「既存装置の延命生産技術」 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
13:30-13:45 | レガシーファブが抱える装置延命の課題とその取組み |
ジャパンセミコンダクター ファクトリー 生産技術部長 谷川 元氏 |
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13:45-14:00 | LSIからMEMSへ ~レガシーファブでの量産技術 |
オムロン マイクロデバイス事業推進部 生産2課 課長
中村 智史氏 |
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セッション「リファービッシュ生産装置の供給」 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
14:00-14:15 |
進化する200㎜ TEL Furnace & Etcher |
東京エレクトロン FSBU フィールドソリューション1部 Etchプロダクトグループ グループリーダー 八木沢 昭二氏
FSBU フィールドソリューション1部 TPSプロダクトグループ グループリーダー 宇城 満山氏 |
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14:15-14:30 |
More-Than-Moore 新生代へのチャレンジとチャンス |
アプライドマテリアルズ ジャパン AGS事業部 EPG 日本・韓国統括部長 杉山 祐一郎氏 |
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14:30-14:45 | ラムリサーチの技術革新と生産性向上によるレガシ‐ファブへの対応 |
Lam Research Japan Customer Support Business Group(CSBG) Sales General Manager 新井 広志氏 |
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14:45-15:00 | 休憩 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
セッション「レガシーファブでの品質作り込み」 -ISSM 2016 Best Paper講演より- |
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15:00-15:15 |
ISSM 2016 Best Paper Award受賞論文
後工程におけるテスト品質向上―Part Average Testing(PAT)手法の導入 |
ジャパンセミコンダクター 坂本 格氏 |
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15:15-15:30 |
ISSM 2016 Best of the Best Paper Award受賞論文
レガシー製品の信頼性向上手法~レイアウトを用いたテストカバレッジで不良流出の危険性を最小化~ |
ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング 技術統括部 解析評価技術部 歩留解析課 主任技師 永村 美一氏 |
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新規6・8インチファブ参入のオポチュニティー | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
15:30-15:50 |
新規6・8インチファブ参入のオポチュニティー 「中国半導体動向及び日本企業の戦略」 |
Global Research & Innovative Solutions (GRAINnS) 代表取締役 三重野 文健氏 |
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パネルディスカッション | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
15:55-17:20 |
パネルディスカッション「レガシーファブの覚醒?! 岐路?1」 <モデレーター> ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング 井上 修一氏
<パネリスト> IHS Markits 南川 明氏 ジャパンセミコンダクター 谷川 元氏 オムロン 中村 智史氏 東京エレクトロン 八木沢 昭二氏 アプライドマテリアルズジャパン 杉山 祐一郎氏 Global Research & Innovative Solutions(GRAINnS) 三重野 文健氏 |
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17:20 | Closing |